ETD-2000C 离子溅射/蒸碳一体机

制造厂商介绍：
         北京意力博通技术发展有限公司, 是韩国COXEM公司在国内的合作伙伴，COXEM为国内电镜客户配套其物美价廉的小型溅射仪和蒸碳仪。意力博通是由中国科学院北京科学仪器厂的几位高级工程师创办，他们个人在扫描电镜、X射线能谱仪软件硬件方面的技术水平，在国内是顶级水平。最初意力博通主要业务是维修扫描电镜或者数字化升级改造国内外模拟型扫描电镜，能谱仪，包括帮助推广中科院上海硅酸盐所的专利技术扫描电声显微镜，以及代理德国布鲁克能谱仪，但国内市场情况不好，或者说可能这几位高级工程师并不擅长商业贸易。因此他们逐渐把精力放在有更大市场的小型离子溅射镀膜和蒸发镀膜设备的研发上，现在他们已经向国内客户提供了几百上千套各种功能的小型镀膜机，包括按照客户意愿定制的产品，最近两年，出口到发达国家也有几十台。意力博通的工程师，不断改进工艺提高产品可靠性，并按照客户需要，开发各种功能，并适时推出标准化产品。
详情请登录我们的网站：http://coxem2010.blog.163.com/
 

ETD-2000C型在ETD-2000型基础上，增加了蒸碳附件。适用于分析型扫描电镜对于不同分析需要的导电膜层制备。

配置参数如下：

 仪器尺寸 ： 400mm×300mm×400mm（L×W×H） 
真空样品室： 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm（D×H） 
 靶（上部电极）： 50mm×0.1mm（D×H） 
 样品台： 50mm(D)  ，自动旋转。 
 操作真空： 4×10-1mbar至2×10-2mbar 
 微型真空气阀： 可连接φ3mm软管 
 可通入气体： 多种 
 工作电压： 0-1600V (DC)可调 
溅射电流： 0-50mA 
溅射定时： 1-9999S 
蒸碳电流 0-10A(AC) 
真空泵： 4L/S两级机械旋转泵（极限真空2×10-2mbar） 
样品表面离子清洁（选配）

意力博通还提供以下服务：
维修或改造所有类型任何品牌的扫描电子显微镜(SEM)、数字图像和Si(Li)探测器。提供国产化能谱仪及改造X射线能谱仪等。