ETD-2000/3000 小型离子溅射仪

制造厂商介绍：
    北京意力博通技术发展有限公司, 是韩国COXEM公司在国内的合作伙伴，COXEM为国内电镜客户配套其物美价廉的小型溅射仪和蒸碳仪。意力博通是由中国科学院北京科学仪器厂的几位高级工程师创办，他们个人在扫描电镜、X射线能谱仪软件硬件方面的技术水平，在国内是顶级水平。最初意力博通主要业务是维修扫描电镜或者数字化升级改造国内外模拟型扫描电镜，能谱仪，包括帮助推广中科院上海硅酸盐所的专利技术扫描电声显微镜，以及代理德国布鲁克能谱仪，但国内市场情况不好，或者说可能这几位高级工程师并不擅长商业贸易。因此他们逐渐把精力放在有更大市场的小型离子溅射镀膜和蒸发镀膜设备的研发上，现在他们已经向国内客户提供了几百上千套各种功能的小型镀膜机，包括按照客户意愿定制的产品，最近两年，出口到发达国家也有几十台。意力博通的工程师，不断改进工艺提高产品可靠性，并按照客户需要，开发各种功能，并适时推出标准化产品。目前可以提供的标准化产品包括：

ETD-2000/3000型离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。
 

 常规Au /Pt 金靶
主要特点：
1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得最佳镀膜效果；
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
4. 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用；
5. 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
 配置参数：

 靶（上部电极）：金：直径：50mm，厚度：0.12mm 
真空样品室： 直径：160mm，高：120mm
样品台及工作距离：高配旋转样品台，简配固定样品台，高度手动调节
溅射面积： Ф50mm，最大放置
真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
离子电流表： 最大电流：50mA(100mA)
 定时器： 最长时间：900S
微型真空气阀： 可连接φ3mm软管 
可通入气体： 多种
 最高电压： -1600（-3000）DCV
机械泵： 2L/S    （120L/min）
样品表面离子清洁（选配）
 
 意力博通还提供以下服务：
维修或改造所有类型任何品牌的扫描电子显微镜(SEM)、数字图像和Si(Li)探测器。提供国产化能谱仪及改造X射线能谱仪等。