产品详情:
SSC-RGA6500小分子在线质谱仪的主要应用方向,半导体工业、真空镀膜(PVD、CVD)、刻蚀、粒子加速器;CO2还原,程序升温脱附、化学化工、储能材料、硝酸根还原、燃料电池尾气检测、电-光-热催化、汽车尾气分析、电催化合成氨、热分析、固定床、电解水析氢/析氧、扣电-软包等电池产气、光催化水制氢燃料电池研究、发酵微生物呼吸气体监控、人呼吸监控、环境气体分析、地质分析、冶金过程、各种催化过程等等。
在线气体质谱仪与TGA实现联用,能够快速地分析热重测试过程中逸出气体产物;在线质谱仪可与各种催化剂评价装置,反应釜,气相色谱等连用,在线实时检测过程中的气体组成及其含量;在线质谱仪可以与化学吸附仪连用,对程序升温过程中的逸出气体进行定性和定量分析。
产品优势:
1. 进样管加热,可达350℃
2. 易操作界面,10英寸彩色触摸屏,可全面控制仪器运行、采样分析、显示谱图
3. 可烘烤真空室至180℃
4. 可定制版本,如特殊进气系统、特殊外壳
5. 质量范围标配1-200amu;可选1-100amu、、1-300amu
6. 软电离选项(1-100eV)
7. 耗气量低(1-2sccm)
8. 响应快(驻留时间最短1ms/amu)
典型应用:
通过质量数判断进样气体组分,得到真空系统中的工业气体的成分和相对浓度信息,分析真空系统的密封性、脱附行为等,便于用户判断真空室及真空组件的状态,如下图中质谱图所示
过程检测/检漏
在设置的质量数范围进行全扫描或选择扫描,长时间对某几类气体进行监控(含报警功能)以观察真空腔体内气体组分浓度随时间的变化,如下图中时间趋势图所示
技术参数及配置:
环境温度 |
15-35℃ |
|
相对湿度 |
≤85% |
|
适用电源 |
220V(±10%),50Hz(±2%) |
|
主要性能指标
|
★质量范围 |
1-200 amu |
进样管 |
石英毛细管/不锈钢毛细管 |
|
★毛细管温度 |
≥350℃ |
|
腔体加热温度 |
≥200℃ |
|
进样管入口压力 |
0.5-2.5atm |
|
进样管长度 |
1m/2m |
|
灵敏度 |
||
最小可检测分压 |
1.25E-10Pa |
|
质量准确性 |
±0.10 amu |
|
▲仪器最小检测限 |
≤100ppb |
|
检测范围 |
100ppb-100% |
|
▲驻留时间 |
1ms – 16s/amu |
|
▲分辨率@10%峰值高度 |
0.5-2amu可调 |
|
扫描方式 |
全扫描、选择离子监测 |
|
整机尺寸(长×宽×高) |
655×358×318 mm |
|
▲重量 |
29.3kg |
|
接口 |
以太网LAN×1、USB×1 |
|
离子源
|
离子源类型 |
开放式离子源 |
离子源配置 |
双灯丝软件切换 |
|
灯丝电流 |
1000μA |
|
离子化能量 |
1-100eV |
|
灯笼电压 |
1-140V |
|
质量分析器 |
★质量分析器 |
配备预四极的高精度全金属双曲面四极杆 |
四极杆尺寸 |
98.5*24.6*6 mm |
|
检测器 |
法拉第杯和电子倍增器,对低浓度物质使用法拉第杯检测器,高浓度使用电子倍增器测定 |
|
真空系统 |
前级泵 |
无油隔膜泵,抽速≥0.6 m³/h |
▲配置高性能涡轮分子泵,抽速≥67L/s |
||
软件工作站 |
★质谱仪全中文一体化控制软件工作站 |
|
实时监控 |
可设置监测离子物质,设置监测强度阈值,超过一定分压即实时查看到超标物质并打开蜂鸣器 |
|
对质谱图中不同质量数进行元素定性功能 |
||
化合物定量MCD采集功能 |
通过加载已知组分含量的标准气体,再新的样品后可以得到对应化合物浓度 |
售后服务:
1. 安装、校准与试运行:仪器制造厂授权技术员在买方用户现场免费安装调试,技术指标合格。
2. 培训:提供技术服务,现场培训内容(包括仪器基本原理、操作使用及日常保养维修等),培训工作直至技术人员能独立操作为止。
3. 质保与维修:仪器厂商提供1年的免费保修服务。
4. 技术资料:提供仪器设备的安装、操作手册、维修保养手册等技术文件,及产品合格证、质量保证书和产品软件等全套资料。