特征 <BR> 结构紧凑,桌上单位 <BR> 可调射频功率 <BR> 低,中,高级电源设置 <BR> 两个等离子体清洁机型: <BR>o 的PDC - 001 ( 115V ) ;的PDC - 002 ( 230V ) <BR> -扩展模型 <BR> -包括一个6 “直径6 1 / 2 ”长硼硅分庭和一个组成开关的真空泵 <BR> -它的铰接盖采用了磁性关闭和视窗 <BR> -适用于最高至30W的射频线圈 <BR> - 1月8日“不扩散核武器条约针阀控制气体流量和压力室 <BR> - 1月8日“不扩散核武器条约3单向阀,快速开关出血天然气,隔离室,和通风 <BR> -重量:四十五英镑 <BR> -尺寸: 11 “高x 18 ”宽x 9日的“ D <BR>o 的PDC - 32G条( 115V ) ;的PDC - 32G条- 2 ( 230V ) <BR> -基本模型 <BR> -包括一个3 “直径6 1 / 2 ”长硼硅厅和一个可移动的封面大会 <BR> -应用最多18W的射频线圈 <BR> - 1月8日“不扩散核武器条约针阀控制气体流量和压力室 <BR> - 1月8日“不扩散核武器条约3单向阀,快速开关出血天然气,隔离室,和通风 <BR> -重量:一十三英镑 <BR> -尺寸: 8 1 / 2 “高x 10 ”宽x 8的“ D <BR> 任择石英等离子体清洁室 <BR> 任择流混合器允许独立水表摄入量最多两个不同的气体和监测的压力,在会议厅内 <BR> 兼容现有真空泵 <BR>需要 <BR> 阿真空泵最低抽速为1.4 立方米 /小时,最高最终总压200 mTorr <BR>电源设置 <BR> 描述 <BR>的PDC - 32G条或PDC - 32G条- 2 <BR>的PDC - 001或PDC - 002
<P></P> 输入功率 <BR> 100W功率 <BR>功率200W
<P></P> 适用于射频线圈
<P></P> 低设置 <BR> 680V直流 <BR> 10毫安直流 <BR> 6.8W <BR> 716V直流 <BR>一〇毫安直流 <BR> 7.16W
<P></P> 中设置 <BR> 700V直流 <BR>一五毫安直流 <BR> 10.5W <BR> 720V直流 <BR>一五毫安直流 <BR> 10.15W
<P></P> 高级设置 <BR> 720V直流 <BR>二十五毫安直流 <BR> 18W <BR> 740V直流 <BR> 40毫安直流 <BR> 29.6W
<P></P>
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