全自动抛光片清洗机

处理对象：Ф2”、 Ф3”、 Ф4”、 Ф6”晶片；
 药液处理槽批量：配备专用装卸提篮（PTFE材质）12个，兼容Ф2”、 Ф3”、 Ф4”、 Ф6”、Ф8”标准花篮，其中Ф2”、 Ф3”、 Ф4”晶片一次清洗不少于100片，Ф6” 晶片一次清洗不少于50片，按照标准片盒（每盒25片）设计。
铝刻蚀设备
1. 设  备 名:    铝刻蚀
上料花篮 :  手动

2. 机器尺寸:
1200 (W) x 1200 (L) x 1920 (H)

3. 硅片尺寸:  Φ6英寸
处 理 量:    25 片 x 2 盒
花    篮:    Entergris  A-182-60MB  ( ASMC提供)
提手型号:    A72-60-03*            (ASMC提供)   

4. 设备结构
4.1 架子(SUS + FM-PVC)-------- 1 set
4.2 清洗槽( chemical )  ---------- 1 set
4.3 清洗槽 (DIW )  ------ ---- 1 set
4.4 槽    盖   ------ ---- 1 set
4.5 摇动系统   ------ ---- 1 set
4.6 管路系统   ---------- 1 set
4.7 控制面板         ------ ---- 1 set
加热传感器       ------- ----1set