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Tft-lcd 基板清洗设备

 
单价: 面议
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发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
所在地: 全国
有效期至: 长期有效
最后更新: 1970-01-01 08:00
浏览次数: 207
 
公司基本资料信息
详细说明
整套设备由上下料装置,传送装置,干洗部分紫外光化学清洗舱(UV单元)和湿洗部分(药液喷淋舱,刷洗,高压喷淋,超声波清洗,风刀)综合组成,清洗流程设计为1药液喷淋(弱碱,附加DIW自清洗功能)-2药液刷洗(弱碱或者中性)-3超声波-4二流体喷淋(高压)-5兆声波(频率率百万赫兹以上)-6超纯水喷淋清洗-7风刀干燥-8紫外单元。设备每个部分能够单独控制;1单元前以及2,3单元间必须配备风刀液切单元,防止废气泄露以及单元间相互污染
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