扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope，SPM)是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜(原子力显微镜AFM，激光力显微镜LFM，磁力显微镜MFM等等)的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器，是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。
目前，浙江省计量院已具备微纳几何结构关键尺寸的计量校准能力，可为半导体企业、精密加工中心的关键尺寸测量提供量值溯源至国家基准的途径，更加全面准确地为半导体、微电子行业的纳米尺度关键尺寸检测提供技术保障。
近年来，浙江省计量院为了加强质量技术基础及体系建立，服务浙江省经济转型升级，围绕“三强一制造”中心工作，不断在高端装备、医疗卫生、大气治理、新材料等领域建立社会公用计量标准，满足新产业领域发展的需要。
编辑点评
最近几年，浙江省计量院投入科研经费9449万元，完成科研项目236项，其中特别注意结合正在蓬勃兴起的智能制造开展智慧检测科学研究，课题多达20余项，能够在医疗、治水、治气、能源等领域，利用各类自动化手段来实现自动检定、校准、检测、测试，建立虚实结合、线上线下相辅相成的检验检测流程，提高检验效率，降低劳动成本。
