厦门分子泵安捷伦分子泵三明分子泵 龙岩分子泵 莆田分子泵 美国安捷伦分子泵 进口分子泵 南平分子泵 耐用分子泵来自于镀膜工艺方面的技术难题
系统的本底压力在 10-7 mbar的范围
稳定的工艺压力在 10-3 mbar的范围
必须具有高氩气负载能力
大量热量的产生来自于环境以及系统运行中的技术难题
必须保持高产量的客观事实
湿度及冷凝水
颗粒及混合物
系统整合控制需求
系统自我早期诊断需求
精确的转子设计
温度的监视及控制
内置保护装置 (喷吹/放气)
工业级的耐用性外壳设计
内置的早期自我诊断系统
安捷伦分子泵