自平衡支架主要参数:
●平面不大于0.10mm/㎡
●表面粗糙度小于0.8um
●固有频率1.0Hz～2.8Hz
●振幅不大于2.2um
本支架可气泵自动充气，自动调节平衡，使用方便，支撑腿直径为220mm,整体高度为600，可调节范围0-70，支撑腿可选择方形！
气浮式支架主要参数：
·平面度不大于0.10mm/㎡
·表面粗糙度小于0.8um～1.6um
·固有频率3Hz～5Hz
·振幅不大于4um
本支架不可自动充气，为人工充气，
支撑腿直径为220mm,整体高度为600，可调节范围0-70，支撑腿可选择方
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