MYCRO韩国制造的桌面型高精度数控匀胶涂层系统SPIN1200D,是转为实验室项目研发设计的。适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺,可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。通过调整胶液的粘度,转速和旋转时间,涂层薄膜的厚度范围从1000埃到100um自由控制。
特点:
*可用于光刻胶,聚合物,metallo-organics,dopants,silica films and most 有机或者aqueous溶液;
*由PLC控制的可编程操作;
*基于可选择转速值和旋转时间可以方便计算加减速度;
*通过前面操作面板和显示屏,可以方便选择多种镀膜功能。SPIN1200D参数表:
基底尺寸:小片至4英寸基片;
腔体:8英寸(铝阳极氧化膜保护层)
真空泵:无油真空泵
旋涂状态设定:可以设置50步加减速过程,同时可存储20个不同材料的旋涂过程;
旋涂转速:最大至7000转/分;
加速值:最大至3000转/分;
旋转马达:直流伺服马达;请与迈可诺技术有限公司 中国营销服务中心联系
Tel: 010-52914751(北京) 021-33197367(上海) 020-85583301(广州) 027-87163162(武汉) 4008800298(客服电话)
Email:sales@mycro.com.cn
Website: http://www.mycrohk.com
MYCRO韩国产 数控涂层机SPIN1200D