迈可诺技术有限公司

MSC系列匀胶机为美国原装进口全自动数字式匀胶机。
 
该匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺。
 
这一系列匀胶机还可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

MYCRO MSC-650系列匀胶机旋涂仪转速获NIST标准认证。

MYCRO MSC-400B型匀胶机，为高精度数码控制器的匀胶旋涂仪，非常方便设定速度和加速度程序段，匀胶机内共设有20个51步程序段或者手动模式，100~8000RPM的稳定转速，也可特别订制1~12000RPM的转速，可重复性达到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM。

MSC-400B系列匀胶机的数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器，其设置点精度小于0.006%，获美国NIST激光测量标准认证，无需校准。

请根据您实际需要的大小和材质选择相应的匀胶机/旋涂仪订购代码：

NPP材质的6英寸匀胶机系列型号

MSC-400B-6N 

MSC-400B-6N-IND

MSC-400B-6N-OND

◆匀胶机为NPP材质台式 
◆8.5英寸 (216 毫米) 直径 桶状处理腔
◆匀胶机可以涂敷最大直径为6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料 
◆理想的旋转涂敷仪
◆销量最好的台式系统匀胶机 

NPP材质的8英寸匀胶机系列型号：

MSC-400B-8N

MSC-400B-8N-IND

MSC-400B-8N-OND

◆匀胶机为NPP材质内置式带远程控制器 
◆12.5英寸 (318 毫米) 直径 桶状处理腔
◆匀胶机可以涂敷最大直径为8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料 
◆这系列匀胶机是销量最好的wet-bench型系统 

MSC系列匀胶机内的高精度数码控制器：
可设定存储20个不同样片的旋涂程序段；
每个程序段可以设置51步不同的速度状态；
匀胶机随意任意时间范围的加减速，可重复性达到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；
      这一系列的匀胶机上的液晶显示屏可以实时读取任意速度状态

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