可从最小量的样品中获得精确的测量结果，是这种仪器独有的特点
MAT253质谱仪系统提供灵活而开放的平台，以进行入口系统及制备设备的连接。Thermo Finnigan提供的入口系统以一种“即插即量”的方式被系统自动识别。另外，系统是开放的，方便对通用入口／制备系统的连接和控制。通过和气体同位素数据系统的完全整合，使得MAT 253容易安装、调试及全自动运行
• 质量数范围：1～150amu
• 可连接多种样品制备装置包括元素分析仪、气相色谱仪、多用途样品制备装置等
• 更可扩展到Si、Cl的气体样品以及惰性气体的同位素比值精确测定
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气体同位素质谱仪