COXEM Co.，Ltd

COXEM.Beijing Office是韩国COXEM公司在中国大陆唯一分支机构，作为COXEM中国大陆市场直销平台及相应全面技术支撑平台，主要经营酷塞目系列扫描电镜及相关附件耗材等业务。

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技术参数
分辨率：3.5nm (30kV, SE image)
        4.0nm (30kV, BSE image) 可选
放大倍数：30x~300,000x（WD=5mm）
加速电压 0.5kV~30kV
电子枪：三级自给偏压，预对中发叉式钨丝阴极，自动/手动电磁对中
透镜系统:三级电磁透镜
物镜光阑:4 孔可变光阑，摇摆对中合轴
图像电位移和电旋转:±20 ? (WD: 5 ㎜)； 0-360°无限
样品室:内径φ210mm ，可扩展接配EDS,BSE 等探测器
样品台及行程: 标配五轴手动机械对中样品台
              X: 60 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~50 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
             可选X、Y 2 轴马达驱动
最大样品尺寸：直径φ160mm ，最大样品高度50mm
操作系统：PCI、USB 接口的PC 机控制, 奔腾4 兼容机，Windows XP, 19 英寸彩色显示器，图形用户界面（GUI），鼠标键盘操作
自动功能：自动电磁对中，自动聚焦，自动亮度对比度，自动消象散
扫描模式：屏幕选区模式: 320 x 240 像素
          全屏慢扫描模式: 640 x 480 像素 (3 档速度)
          全屏照相获取模式 1: 1280 x 960 像素
          全屏照相获取模式 2: 2560 x 1920 像素
          示波器观察模式，图像冻结
图像格式：JPG, TIFF, BMP
语言：英语
真空系统：全自动涡轮分子泵真空系统，样品室处真空度优于1x10-5 Torr ，涡轮分子泵210L/sec + 旋片式机械泵100L/min
外形尺寸和重量：主机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 310 ㎏
                操作台: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安装要求： 电源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
           地线 独立地线1 条，小于等于100Ω
         温度 15℃~30℃
           湿度 小于等于70 %
           交流磁场 小于等于0.3 uT
           地面振动 5 um/sec Max.
           门宽 900mm 或更宽