HNO3+H3PO4+CH3COOH
槽体材质： PP，循环槽结构， 防漏槽材质：PP；
清洗批量：2提篮/批次；
清洗药液：HNO3+H3PO4+CH3COOH；
清洗时间设定：0~9999sec；
温度：50℃，温度控制精度±1℃；
加热器：PFA在线加热器，3KW；
温度控制方式：欧姆龙温度控制器+电力调整器；
循环系统：PP磁力泵，15L/min，药液接触部分为PP材料；
药液供给：手动桶装供给，直接供给到处理槽；
药液更换模式：可设定为清洗时间模式、清洗片盒计数模式，到期设备自动提醒；
处理槽液面控制：使用N2液位，具有报警功能，内槽检测下限及定量，外槽检测上限和下限。
管路阀门：使用气动阀门；
槽体盖子：自动，PTFE材质，采用气缸控制盖子翻转；
排气：共用排气管路，材料为PP，配置连接法兰、风压检测及调节阀门，尺寸为200A，接口在设备的上部
硅片化学清洗腐蚀