本设备用于硅材料行业中，对小尺寸硅料进行腐蚀清洗、烘干。设备共由以下功能单元组成
对为检验多晶硅棒产品质量所制备的多晶片、块样及单晶棒试样进行清洗、烘干，具有较快的清洗速度和较高的清洗质量，清洗的硅块尺寸最大为Φ140×50（mm）或Φ40×200（mm）。
进出料、腐蚀、清洗、烘干为人工操作，配酸、补酸能够自动完成，并能设定各工序时间。确保设备材料耐强酸腐蚀（HF+HNO3）。
整个腐蚀清洗台的工作环境洁净度达到100级
小件硅料腐蚀清洗机
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小件硅料腐蚀清洗机
详细信息 本设备用于硅材料行业中，对小尺寸硅料进行腐蚀清洗、烘干。设备共由以下功能单元组成
对为检验多晶硅棒产品质量所制备的多晶片、块样及单晶棒试样进行清洗、烘干，具有较快的清洗速度和较高的清洗质量，清洗的硅块尺寸最大为Φ140×50（mm）或Φ40×200（mm）。 进出料、腐蚀、清洗、烘干为人工操作，配酸、补酸能够自动完成，并能设定各工序时间。确保设备材料耐强酸腐蚀（HF+HNO3）。 整个腐蚀清洗台的工作环境洁净度达到100级 |