苏州华林科纳半导体设备技术有限公司

本设备用于硅材料行业中，用于腐蚀清洗硅棒制备设备所用的石墨器件和其他工序反复使用的石墨器件。设备共由以下功能单元组成
对用于硅棒制备设备所用的石墨器件和其他工序反复使用的石墨器件进行腐蚀、清洗、烘干，具有较快的清洗速度和较高的清洗质量，清洗的石墨件最大尺寸为Φ800×800（mm）。
工件进出清洗槽人工操作外，其余酸浸、浸煮、配酸、补酸、烘干脱水过程能够自动完成，并能设定各工序时间。确保设备材料耐强酸腐蚀（HCl+HNO3）。