工艺流程
设备主体结构由清洗机箱体、漏盘、上下喷淋系统、活动托盘、储酸系统、抽风系统、酸液循环系统、石英器皿腐蚀/清洗槽、热风烘干系统、管路部分、PLC+触摸屏电控部分。该设备主体上下分为三部分：上层电器控制系统、后部抽风系统，中层工作区，下层为管道安装维修区、储酸箱、DIW增压泵、缓冲槽、酸液循环泵等。
首先将石英坩埚放入清洗机立式活动台，检查水、电、气正常，活动门封闭，然后启动按钮→进入酸洗程序→进入DIW洗程序→冷风预吹干→热风吹干→冷风预冷却→合格报警→人工用小车将石英坩埚取出清洗机，完成整个清洗工作。
石英坩埚清洗机