＊通过洗剂喷淋、轮刷刷洗、喷淋清洗、超声波清洗、风刀风干、紫外线照射等方法，清洁干燥ITO玻璃基板表面。
＊装置组成：
1.上料装置
2.传送装置
3.洗剂喷淋
4.洗剂刷洗单元
5超声单元
6.二流体清洗
7.超声波（兆声）清洗单元
8.超纯水喷淋清洗单元
9.风刀风干
10.紫外线照射（UV）
11.下料装置
12.溶液混和箱
13.二流体泵及过滤单元
14.药液循环泵及过滤单元
15.主控制柜
16.纯水加热器
基板清洗设备
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基板清洗设备
详细信息 ＊通过洗剂喷淋、轮刷刷洗、喷淋清洗、超声波清洗、风刀风干、紫外线照射等方法，清洁干燥ITO玻璃基板表面。
＊装置组成： 1.上料装置 2.传送装置 3.洗剂喷淋 4.洗剂刷洗单元 5超声单元 6.二流体清洗 7.超声波（兆声）清洗单元 8.超纯水喷淋清洗单元 9.风刀风干 10.紫外线照射（UV） 11.下料装置 12.溶液混和箱 13.二流体泵及过滤单元 14.药液循环泵及过滤单元 15.主控制柜 16.纯水加热器 |