流量范围 10SCCM-125SLPM
响应时间 ≤2sec
准确度 ≤1%FS
重复精度 ±0.25%
输入/输出信号 0-5VDC,4-20mA
供电电源 +15~28VDC,350mA
耐压 <9MPa
工作环境温度 0-50℃
泄漏率 1*10-9atm.cc/sec
LINE-TECH质量流量控制器
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详细信息 流量范围 10SCCM-125SLPM
响应时间 ≤2sec 准确度 ≤1%FS 重复精度 ±0.25% 输入/输出信号 0-5VDC,4-20mA 供电电源 +15~28VDC,350mA 耐压 <9MPa 工作环境温度 0-50℃ 泄漏率 1*10-9atm.cc/sec |