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截止发稿前，200mm硅光项目共进行了11次招标，且其中已有一次招标项目近日完成2194.8 万元的中标。预计，还将会有一系列招标发布。
以下为11个招标项目信息整理列表：
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招标项目 |
采购仪器/设备 |
数量 |
预算金额 |
开标时间 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发炉管等设备采购项目国际竞争性招标 |
氮化硅和氧化硅刻蚀设备、高温氮化硅介质膜热生长设备等 |
各1套 |
2216万元 |
06月01日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发深紫外曝光设备等设备采购项目国际竞争性招标 |
晶圆涂胶和显影设备、深紫外线曝光设备 |
各1套 |
2640万元 |
06月01日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目 |
晶圆片喷雾清洗设备、晶圆手动清洗设备、化学液供给设备 |
各1套 |
970万元 |
06月04日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发硅刻蚀等设备采购项目国际竞争性招标重新招标 |
硅材料刻蚀设备、晶圆背面清洗设备 |
各1套 |
2710万元 |
06月06日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发光学显微镜采购项目国际竞争性招标重新招标 |
光学显微镜 |
1套 |
52万元 |
06月08日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发机械真空泵采购项目国际竞争性招标重新招标 |
机械真空泵 |
1套 |
260万元 |
06月08日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发贴膜机采购项目国际竞争性招标重新招标 |
贴膜机 |
1套 |
300万元 |
06月11日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发本地尾气处理设备采购项目国际竞争性招标重新招标 |
本地尾气处理设备 |
1套 |
500万元 |
06月12日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发湿法刻蚀设备采购项目重新招标 |
晶圆片喷雾清洗设备、晶圆手动清洗设备、化学液供给设备 |
各1套 |
970万元 |
06月11日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发干法去胶设备采购项目国际竞争性招标重新招标 |
干法去胶设备 |
1套 |
325万元 |
06月14日 |
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200mm硅光项目和成套工艺开发光刻后测量设备采购项目国际竞争性招标重新招标 |
光刻后层与层间对准精度测量设备、图形尺寸测量扫描电镜 |
各1套 |
950万元 |
06月21日 |
附：招标相关信息
项目联系方式：
项目联系人：赵丽莉
项目联系电话：86-21-62791919×135
采购单位联系方式：
采购单位：中国科学院上海高等研究院
地址：上海市浦东新区海科路99号
联系方式：黄雨辰、021-20325063